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穆尔纳米技术公司350UPM超精密微磨削/微铣削机床

  • 350UPM
  • 美国穆尔纳米技术公司 / Nanotech
  • 美国
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产品描述

产品简介

穆尔集团纳米技术公司 (Moore Nanotechnology Systems)350UPM机床为高效超精密微磨削/微铣削机床,该机床配置了转速60000、液体冷却的垂直空气轴承主轴。350UPM适用于非球面镜头阵列和微结构沟槽元件的金刚石微铣削,可以取得传统机床无法达到的光学表面精度和低误差。可加工零件的尺寸为:宽350mm X 350mm X 150mm

机床特性

·    PC 兼容CNC运动控制器以及Windows操作系统,编程分辨率0.01纳米 (0.0004u”)

·    绝热型线性刻度反馈系统,分辨率34皮米 (0.034nm)

·    碳纤维加固型整体式复合大理石基座,热稳定性、刚性以及减震性能十分出色

·    箱式油静压轴承滑轨,提供光滑、高刚性和很好的减震能力的线性运动性能

·    高速循环周期的线性电机控制器,利于提高表面质量,并使维护最小化

·    空气轴承磨削主轴转速200-60000rpm(配有液体致冷)

·    X轴行程:350mmY轴行程:350mmZ轴行程(垂直):150mm

·    极具策略性的嵌入式热耦实时原位热能监控设计


主机
描述
系统配置
3轴或4轴超精密CNC 微铣削系统
最大加工范围
350mm宽x350mm长x150mm高
基本架构
整体复合环氧树脂花岗岩底座嵌入碳纤维加固
隔震装置
优化空气隔震系统。可选配自动调平阻尼式空气隔震系统
控制系统
基于PCDeltaTau CNC运动控制器 Intel i5 2.5 GHz 处理器, Windows 运行系统, 配备19寸彩色触摸屏,2G 内存,10/100/1000 以太网接口,DVD+/-RW SATA光驱以及500GB 硬盘,系统安装于NEMA 12机柜。
编程分辨率
线性分辨率0.01 nm / 角度分辨0.0000001°


主轴
标准指标
类型
空气轴承
主轴转速范围
5,000- 60,000 RPM
轴向刚度
65 N/μm (371,000 lbs./in.)
径向刚度(鼻端)
20 N/μm (114,000 lbs./in. )
驱动系统
无刷直流电机
运动精度
轴向: ≤ 25 nm     径向: ≤ 25 nm


线性轴
X
Y
Z(垂直)
类型
全约束式油静压,闭式导轨
全约束式油静压,闭式导轨
全约束式油静压,闭式导轨,并配置空气轴承适应控制器,用于平衡重力和不同的负载
行程
350mm
350mm
150mm
驱动系统
无刷直流直线电机
无刷直流直线电机
双无刷直流直线电机
反馈类型
激光全息线性光栅尺
激光全息线性光栅尺
激光全息线性光栅尺
反馈分辨率
0.034nm
0.034nm
0.034nm
进给速率(最大)
2000mm/min
2000mm/min
2000mm/min
直线度

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程

0.2μM水平全行程

0.75μm垂直全行程
静压油装置
紧凑,低流量,低压力系统,配备封闭式循环伺服控制以及使油泵脉动最小化的压力积蓄装置


温度管理系统
描述
闭环冷却系统
提供导轨静压油及主轴冷却液的温度控制
陶瓷主轴固定臂
具有较高结构刚度和低热膨胀系数的轻量化设计
热敏电阻温度监测系统
嵌入热敏电阻持续监控实时温度,1/1000华氏度分辨率
Nano temp软件
独家温度制图软件,跟踪机器内温度变化情况
机床外壳
外壳充分利用双滑动门改进了温度稳定性(可选空气淋浴)


选配旋转轴
旋转C
类型
油静压
行程
360°(双向)
驱动系统
无刷直流电机
轴向刚度
875 N/μm (5,000,000 lbs./in.)
径向刚度(鼻端)
260 N/μm (1,500,000 lbs./in.)
定位精度
±1.0弧秒
反馈分辨率
0.02弧秒
最大速度(定位模式)
50 rpm
运动精度
轴向: ≤ 0.1μm      径向: ≤0.1μm


环境要求
Air空气
Electrical供电要求
占地要求(包括电气柜)
为优化车削结果,热稳定性应被控制在±0.5°C (±1.0°F)以内

7.5to 10 bar (110–150 psi)

280liters/min (10 scfm)

过滤10μm 以上微粒

干燥至10°C 压力露点

208- 480 VAC; 3相位;50 / 60hz; 3 Phase (11kVA)

1.9m x 1.8m x 2.1m

重量约3,360 Kg

(包括机床外壳和电柜,但不包括控制台等外围设备)


: 上述指标因产品和技术的持续发展而发生改变时,恕不能及时另行通知。

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