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650FGv2超精密自由曲面机床

  • 650FGv2
  • 美国穆尔纳米技术公司 / Nanotech
  • 美国
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产品描述

V2系列 新技术特点

· 专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 - 全转速范围内主轴跳动小于 12.5纳米,C轴反馈分辨率为 0.01弧秒

· 业界领先的8.4皮米光栅尺反馈分辨率

· Delta Tau 控制软件 - 程序预读能力40,000句

· 通过网络可进行实时设备监控以及远程操作控制

· NanoSMART - 业界首款触摸屏操作界面,应用了大量新功能,其中包括能运行文件大小高达5GB的程序


技术参数

主机
描述
系统配置
超精密3,4 或5 轴CNC 机床,用于同轴非球面和螺旋表面车削加工,慢刀伺服(旋转式)进行自由曲面加工,栅式飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构的加工
最大加工范围
直径650mm x 长300mm(可定制更大的加工口径)
床身结构
整体式复合聚合物花岗岩,内置冷却槽,具有极好的热稳定性
隔震装置

优化空气隔震系统。可选配自动调平阻尼式空气隔震系统

计算机配置
Intel i5 2.4 GHz 处理器,64 位Windows 7 专业版,16G 内存,10/100/1000 以太网接口,CD-RW / DVD 光驱以及500GB 硬盘,22”多点触摸屏,USB 接口
控制系统
Delta Tau 系统,嵌入式1GHz, 64 位运动控制器, Nanotech 新触控操作界面,基于Windows 7 环境
编程分辨率
线性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001°
性能展示(使用激光干涉仪或者白光干涉仪测量同一个元件)

材料 – 高纯度铝合金 (所有精度的测量同一个元件的同一表面)

面型精度(P-V): ≤ 0.1μm / 75mm 口径,,250mm 曲率半径凸球面.

表面粗糙度(Ra): ≤ 3.0 nm(测试元件在X-Z 和Y-Z 面车削)

主轴
标准指标
类型
专利耐撞击多孔石墨涂层空气轴承
主轴恒温冷却
通过闭环控制冷水机,提供温度控制循环冷却水,透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却,以达到维持主轴和刀具中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为±0.5°F 的内置PID 控制器。
安装
嵌入式安装于Y 轴托架,以增强外圈刚性并降低热增长。主轴轴心安装于绝热外壳内以增强热稳定性
转速范围
50 至10,000 rpm(双向)
加工口径
650mm
承载能力(径向)
85 Kg @ 7bar (185 lbs @ 100psi.) / 102 Kg @ 10bar (225 lbs @ 145psi.) @ 鼻端
承载能力(轴向)
180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @ 鼻端
径向刚性(鼻端)
130 N/um @ 7bar (743,000 lbs/in @ 100psi)
轴向刚性
438 N/um @ 7bar (2,500,000 lbs/in @ 100psi)
驱动系统
无刷直流电机
运动精度
轴向: ≤ 12.5 nm      径向: ≤ 12.5 nm
线性轴
XZY(垂直)-- 选配
类型
全约束式油静压,闭式导轨
全约束式油静压,闭式导轨
全约束式油静压,闭式导轨,并配置空气轴承适应控制器,用于平衡重力和不同的负载
行程
350mm300mm150mm
驱动系统
无刷直流直线电机
无刷直流直线电机
无刷直流直线电机
反馈类型
激光全息线性光栅尺
激光全息线性光栅尺
激光全息线性光栅尺
反馈分辨率
0.008 nm
0.008 nm
0.008 nm
进给速度 (最大)
2000mm/min
2000mm/min
2000mm/min
直线度
全行程0.3μm
全行程0.3μm
全行程0.5μm ( 中心100mm 0.3μm)
静压油装置
紧凑,低流量,低压力系统,配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置
选配旋转轴
BC(主轴选配)
类型
油静压轴承
空气轴承沟槽补偿(液体冷却)
行程
360° (双向)
360° (双向)
驱动系统
无刷直流电机
无刷直流电机
轴向刚性
875 N/μm
详见上述主轴指标
径向刚性 (鼻端)
260 N/μm
详见上述主轴指标
定位精度
± 1.0 弧秒(经补偿)
± 1.0 弧秒(经补偿)
反馈分辨率
0.005 弧秒
0.01 弧秒
最大速度 (定位模式)
50 rpm
3,000 rpm
运动精度
轴向: ≤ 0.1μm     径向: ≤ 0.1μm
轴向: ≤ 12.5nm     径向: ≤ 12.5nm
应用要求
Air 空气
Electrical 电子
Floor Space 底面空间
为优化车削结果,热稳定性应被控制在±0.5°C (±1.0°F)以内

7 to 10 bar (100 – 145 psi)

280 liters/min (10 scfm)

过滤10 μm 以上微粒

干燥至 10°C 压力露点

208 - 480 VAC; 50 / 60hz; 3 Phase (11kVA)

1.8m 宽 x 1.8m 长 x 2m 高

重量约3,180 Kg(包括机床外壳和电柜,但不包括控制台等外围设备)

Warranty 保修
所有部件保修期为一年


注: 上述指标因产品和技术的持续发展而发生改变时,恕不能及时另行通知。



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